1. Air-Z Heater는 표준제품SAH시리즈, CLH시리즈 그리고 신개발 HD코일을 채용한 SAHD시리즈 등으로 에어 등의 압축공기(불활성가스)를 공급하여 900℃까지의 열풍으로 변환하는 히터입니다.
2. Air-Z Heater의 규격은 작지만 고밀도 발열체에 의해 그 표면적은 매우 크고, 열풍전달에 매우 안정적이며 효율적입니다.
3. Air-Z Heater 내부에 장착된 센서에 의해 ±1℃ 이내의 정밀한 열풍을 사용할 수 있습니다.
4. Air-Z Heater의 용도는 각종 반도체장비, 자동화장비 등 모든 제조공정에 사용이 가능하며, Chamber 내부의 분위기온도 유지 외 건조, 예열, 가열, 열융해, 절단, 용접 등에 사용할 수 있습니다.
5. 타 제품에 비해 최고의 열효율과 수명을 자랑합니다.
6. Particle(미세먼지)에 취약한 공정에는 Clean-Room 전용 CLH시리즈가 있습니다.